无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom)、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,分为若干等级。
万级无尘车间标准包括:1、尘粒最大允许数(每立方米):≤2500
2、大或等于0.5微米的粒子数不得超过350000个,大或等于5微米的粒子数不得超过2000个;
3、微生物最大允许数:浮游菌数不得超过100个每立方米;沉隆菌数不得超过3个每培养皿。
4、压差:相同洁净度等级的洁净室压差保持一致,对于不同洁净等级的相邻洁净室之间压差要≥5Pa,洁净室与非洁净室之间要≥10Pa。万级无尘车间对温度、湿度无特殊要求时,以穿着洁净工作服不产生舒服感为宜,温度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波动±2℃。冬季洁净室湿度控制在30-50%,夏季洁净室湿度控制在50-70%。
5、配电:洁净室(区)的主要生产用房一般照度值宜≥300Lx;辅助工作室、人员净化和物料净化用室、气闸室、走廊等的照度值宜为200~300Lx。
6、噪声控制
(1)动态测试时,万级洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
(2)静态测试时,万级乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A。