十万级无尘车间是指每立方米空气中直径大于等于0.5微米的颗粒数量少于10万个的车间。
这种车间广泛应用于微电子、制药、生物工程等领域,其建设标准主要包括以下几个方面:
空气洁净度要求:按照ISO 14644-1标准中的ISO 8级别要求,每立方米空气中的固体颗粒物数量不超过3,520,000个(粒径大于0.5微米)。
空气流速要求:车间内应保持适当的空气流速,以确保空气的循环和过滤,根据不同的工艺要求和设备设置,通常的空气流速范围为0.25~0.45米/秒。
温湿度控制要求:无尘车间的温度通常在20~24摄氏度之间,相对湿度控制在45%~60%之间,以提供舒适的工作环境,并对产品质量和工艺过程有利。
压差要求:相同洁净度等级的洁净车间之间的压差需要保持一致,不同洁净等级的相邻车间,压差要大于等于5pa,洁净车间和非洁净车间之间的压差要大于等于10pa。
密封性要求:十万级净化电子无尘车间采用了严格的密封措施,以防止外界污染物进入洁净区域,车间的门、窗和通风口等部位均采用特殊的密封材料和密封结构,确保室内空气的纯净度。